深圳净化车间装修净化车间的温度和湿度该如何控制？
净化车间在运行过程中需要严格控制车间内的温度和湿度，来保证正常的运作和员工的舒适，具体应该怎么控制？下面兴富源的小编为大家详细解说。
1.净化室的温度湿度关键依据加工工艺规定明确，但在考虑加工工艺规定的标准下，要考虑到人的舒适度。随之气体净化度规定的提升，对温度和湿度的规定愈来愈严苛。
2.净化工程温度的实际规定将在后边列举，但做为通常标准，随之生产加工精密度的提升，对温度起伏范畴的规定会愈来愈小。比如，在规模性集成电路芯片造成的光刻曝出全过程中，夹层玻璃与硅片做为掩模原材料的线膨胀系数差规定愈来愈小。直徑100um的硅片，温度升高1度，就造成了0.24um线形澎涨，因此务必有±0.1度的控温，另外规定湿度值较低，由于人流汗之后，对商品将会有环境污染，非常是钠的半导体材料生产车间，这类生产车间不可超出25度。
3.高湿度会造成大量的难题。当空气湿度超出55%时，冷却循环水壁厚曝露。假如它产生在高精密机器设备或电源电路中，就会造成各种各样安全事故。空气湿度通常在50%锈蚀。除此之外，当湿度很高时，粘附在硅片表层的尘土会被气体中的氧分子有机化学地粘附在表层，它是没办法除去的。空气湿度、粘结性越高，则越难除去，但当空气湿度小于30%时，又因为静电感应颗粒物对表层吸咐的危害，还非常容易对很多集成电路工艺造成热击穿。硅片生产制造的最好温度范畴是35 - 45%。
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